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每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司28纳米已经实现全工艺段国产化。请问14纳米还有更高制程的设备目前研发进展如何？14纳米等更高制程是否已经完成全工艺段工艺自主化？是否已经交给客户验证？

至纯科技(603690.SH)8月10日在投资者互动平台表示，公司目前已经获得部分14纳米订单，并且将继续增加研发14及7纳米制程的相关湿法技术，提高公司的核心竞争力。